利用热应力传导效应,采用优异的紫外激光器、配合全自动精确定位与检测系统,对硅晶圆表面进行快速切割。切口质量精细,热影响小。
多种激光运行模式与光束整形,保证切口质量和效率
独有的波前校正技术确保高精度加工和一致性
自动定位、自动调焦、自动检测,保证生产良率
可实现大图形自动分切或手动分切选择,拼接精度高达 ±1um
支持翘曲片、TAIKO 片传片
硅晶圆、TAIKO 环
Si 基 TAIKO 片切割工艺,以及晶圆切割、划片。
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